GB/T 38446-2020 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法

　　標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 38446-2020

　　中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法

　　英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

　　中國標(biāo)準(zhǔn)分類號

　　(CCS)L55

　　標(biāo)準(zhǔn)分類號

　　(ICS)31.200

　　發(fā)布日期

　　2020-03-06

　　實(shí)施日期

　　2020-10-01

　　主管部門

　　標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

　　歸口單位

　　微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

　　主要起草單位

　　北京大學(xué) 、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心 、北京智芯傳感科技有限公司 、無錫華潤上華科技有限公司 、中北大學(xué) 、北京必創(chuàng)科技股份有限公司 。

　　主要起草人

　　張威 、李海斌 、張亞婷 、朱悅 、夏長奉 、石云波 、陳得民 、馬書嫏 、程紅兵 、周浩楠 。

　　相近標(biāo)準(zhǔn)(計(jì)劃)

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